殷志富论文成果 Zhifu Yin*，Bolin Lu，Helin Zou，A novel SU-8 nanofluidic chip fabrication technique by traditional UV photolithography，Microsystem Technologies，2017，23（12），5613-5619

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殷志富
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Zhifu Yin*，Bolin Lu，Helin Zou，A novel SU-8 nanofluidic chip fabrication technique by traditional UV photolithography，Microsystem Technologies，2017，23（12），5613-5619

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