殷志富论文成果 Zhifu Yin，Lei Sun，Helin Zou*，Shenbo Xu，Optimization of the profile of the nano-mold and the imprinting conditions by numerical simulation method，Microsystem Technologies，2016，22（5）：1105~1113

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殷志富
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Zhifu Yin，Lei Sun，Helin Zou*，Shenbo Xu，Optimization of the profile of the nano-mold and the imprinting conditions by numerical simulation method，Microsystem Technologies，2016，22（5）：1105~1113

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