殷志富论文成果 Zhifu Yin，Liping Qi，Helin Zou*，A novel 2D silicon nano-mold fabrication technique by inclined-deposition and Ar etching over 4 inch large area，Scientific reports，2016，6：18921~18921

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殷志富
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Zhifu Yin，Liping Qi，Helin Zou*，A novel 2D silicon nano-mold fabrication technique by inclined-deposition and Ar etching over 4 inch large area，Scientific reports，2016，6：18921~18921

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