殷志富论文成果 Zhifu Yin*，E Cheng，Helin Zou，Numerical study on the shrinkage behavior of SU-8 patterns，Microsystem Technologies，2017，23（10），4957-4964

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殷志富
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Zhifu Yin*，E Cheng，Helin Zou，Numerical study on the shrinkage behavior of SU-8 patterns，Microsystem Technologies，2017，23（10），4957-4964

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收录刊物： SCI
是否译文：否

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