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    的个人主页 https://teachers.jlu.edu.cn/Emily/zh_CN/index.htm

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  •   教授
  • 主要任职 : 吉林大学机械学院机制系书记
  • 其他任职 : 国际仿生工程学会创始会员，中国仪器仪表学会试验机分会会员
专利 当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 专利
一种超声辅助研磨抛光碳化硅晶片的装置

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专利类型 ： 发明专利
授权日期 ： 2019-04-05
授权号 ： ZL201811127410.7
是否职务专利 ： 否
专利状态 ： 已授权

 

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